杜瓦罐，是采用超級真空絕熱的不銹鋼壓力容器，是為儲存、運輸和使用液氧、液氮、液氬或二氧化碳而設計的。杜瓦罐一般是參照DOT4L的標準制造。朗克了解到有些大宗氦氣用戶都是用杜瓦罐儲存氦氣，有些時候我們需要對裝有液氦的杜瓦罐充裝時，這個過程就叫做灌液氦。

當杜瓦罐內(nèi)為室溫無液氦時灌液氦，稱為熱灌液氦；當杜瓦里有部分液氦，需要繼續(xù)補充時，稱為冷灌液氦。熱灌液氦步驟比較復雜，注意事項也比較多。

非制冷機MPMS熱灌液氦

  1、開機，開電腦，開泵，把probe后面的粗細兩根金屬泵線插上。

  2、打開Cooling Valve，Utilities>>Diagnostics>>Chamber，觀察流量計流量是否在15-25cc/min，如果太大，說明氣路有漏（比如泵線沒插上）。

  3、輸氦管安裝長的延長桿。

  4、輸氦管一端插入液氦貯罐（開始時插入一部分即可，后面可再下降），另一端出氣后，插入液氦杜瓦。

  5、Log數(shù)據(jù)。

  6、幾分鐘后，液氦貯罐的內(nèi)壓下降，需要頂壓。調(diào)節(jié)高純氦氣瓶的調(diào)節(jié)閥讀數(shù)約為0.5psi，用軟管連至液氦貯罐。

  7、灌液氦開始半小時后，可以灌液氮。

  8、在液氦存下來之前，建議不要灌太快，保持液氦貯罐內(nèi)壓0.5psi。液氦開始的標志是流量達2000cc/min，這時液位顯示約10%。

  9、開始記錄液位，Utilities>>Helium fill，速率不要太快，應低于3%/min。

  10、液位大于25%時，可以關閉冷卻閥（Cooling Valve），因為流阻堵塞的風險已消除。當然，也可在灌液氦全結(jié)束后再關閉冷卻閥。

  11、液位95%時，停止灌液氦：先去掉頂壓力的軟管，關該閥門，觀察灌液氦速率降為0時，拔出插在液氦杜瓦里的輸氦桿，再拔出插在液氦貯罐里的輸氦桿。